Das Digital-Holografische Inspektionssystem “Holotop” Setzt neue Massstäbe in der Geometrischen Vermessung von Oberflächen
Das neue Inspektionssystem “HoloTop” vom Fraunhofer IPM ist dank eines digital-holografischen Verfahrens in der Lage, in einer extrem kurzen Messzeit selbst winzige Strukturen mit hoher Genauigkeit zu erfassen, und eignet sich somit für die Inline-Kontrolle schneller Produktionsabläufe.
Von Andreas Hofmann | Daniel Carl
Erschienen in Laser+Photonik 05/2011, Seite 46-48
Direct Link: http://www.laser-photonik.de/LP110124
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Literatur
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1 D. Carl, M. Fratz, M. Pfeifer, D. M. Giel, H. Höfler: “Multiwavelength digital holography with autocalibration of phase shifts and artificial wavelengths”, Applied Optics 48, H1–H8 (2009).
2 D. Carl, B. Kemper, G. Wernicke, G. von Bally: “Parameter optimized digital holographic microscope for high resolution living cell analysis”, – Applied Optics 43, 6536–6544 (2004).
