Anwender von Mikroinspektionssystemen in der Oberflächeninspektion setzen zur Defekterkennung und Vermessung von Mikrostrukturen immer höherwertige Detektoren ein. Um die Eigenschaften dieser Sensoren voll ausschöpfen zu können, sind lichtstarke, hochauflösende Mikroskopsysteme im unteren beziehungsweise mittleren Vergrößerungsbereich erforderlich. Verlangt die Applikation nach großen Objekt- oder Bildfeldern, stoßen bisherige kommerziell verfügbare Mikroskopsysteme schnell an ihre Grenzen.