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Präzise, flexible und universelle Messungen von dreidimensionalen Objekten
In der Industrie und Forschung werden taktile 3D-Koordinatenmessungen mit Subnanometer-Auflösung für feinmechanische und optische Hochpräzisionsbauteile und Fertigungselemente wie Bohrungen und Kanäle, Mikrogetriebe oder Werkzeuge zur Herstellung von Mikrolinsen gefordert. Um diese Anforderungen zu erfüllen, wurde eine Nanopositionier- und Nanomessmaschine um eine 3D-Funktionalität erweitert und ein taktiler 3D-Mikrotaster eingebunden.
Von Enrico Langlotz | Denys Dontsov | Walter Schott
Erschienen in Laser+Photonik 01/2011, Seite 36-39
Direct Link: http://www.laser-photonik.de/directlink.asp?LP110088
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3D-Funktionalität in der Nanomess- und in der Nanopositioniertechnik [696 KB]
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