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Warum Nanometerpräzision ein völliges Umdenken alter Messansätze erfordert
Fortschritte im Fertigungsansatz und bei Messsensoren haben alte Messbewegungsplattformen zunehmend obsolet gemacht. Präzisionspositioniersysteme, die auf die Reduzierung der sechsdimensionalen Positionsfehler entworfen und optimiert wurden, sind ein Muss, wenn nanometerpräzise Messungen wiederholbar und mit Verlass durchgeführt werden sollen.
Von Bill Hennessey | Bernhard Dauner
Erschienen in Laser+Photonik 01/2011, Seite 42-45
Direct Link: http://www.laser-photonik.de/directlink.asp?LP110089
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6D-Präzision für die heutige Nanometrologie [1,05 MB]
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