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Ein optisches, leistungsfähiges Messverfahren zur Charakterisierung von Materialien und optischen Parametern
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Ein in der Regel linear polarisierter Lichtstrahl trifft winklig auf eine Oberfläche, wobei der reflektierte Strahl bei gleichem Ausfallswinkel eine elliptische Polarisation aufweist – daher der Name Ellipsometrie.
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Von Klaus Blanke |
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Erschienen in Laser+Photonik 02/2009, Seite 20-21
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Direct Link: http://www.laser-photonik.de/directlink.asp?LP110019
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