Das Ritzen von Glas- und Halbleiterwafern geht nicht immer nur mit Lasern oder Brechen – die Methoden können sich auch ergänzen
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Laserschneidverfahren zum Vereinzeln von Glas- und Halbleiterscheiben werden häufig als wirtschaftlichste Methode für optoelektronische Bauteile gehandelt. Bei bestimmten Anwendungen jedoch, vor allem bei Verwendung von spröden Werkstoffen, hat sich eine Kombination aus Laserritz- und Brechverfahren als wirtschaftliche und saubere Trennmethode etabliert, die einen wesentlichen Beitrag zur Produktivitätssteigerung leistet.
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Von Helge Luesebrink | Rick Slagle |
Erschienen in Laser+Photonik 02/2009, Seite 44-46
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Direct Link: http://www.laser-photonik.de/directlink.asp?LP110013
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