Mit dem vertikalen Hubtisch ›AVS1000‹ von Aerotech lassen sich große und schwere Lasten hoch präzise im Submikronbereich positionieren. Er eignet sich für den Einsatz in der Halbleiterfertigung, der automatischen Werkzeugjustage, der optischen Inspektion sowie der Laser-Mikrobearbeitung. Dank des Keildesigns hat der Hubtisch mit einer Gesamtabmessung von 450 x 500 mm² eine niedrige Arbeitshöhe von 140 mm und ist mit einem servomotorgetriebenen Spindelantrieb mit linear geführten Hochleistungslagern ausgestattet. Eine große durchgehende Öffnung ermöglicht den Einsatz in den Bereichen Mikroskopie und Bildgebung, bei denen eine optische Achse vollständig durch den Tisch hindurchlaufen muss. Werkstückhalterungen lassen sich innerhalb der Öffnung und unterhalb der Tischoberfläche anbringen, sodass die niedrige Arbeitshöhe voll genutzt werden kann. Die Tragkraft liegt bei 135 kg. Der Verfahrweg beträgt 5 mm, auf Wunsch sind Sonderanfertigungen mit anderen Verfahrwegen möglich. Ein Rotationsencoder mit 1000 Impulsen ermöglicht eine Positionierungsauflösung von 5 nm, die kalibrierte Genauigkeit des Hubtischs liegt unterhalb von ±1,0 µm, die bidirektionale Wiederholbarkeit bei bis zu ±0,5 µm.

Die aus Aluminium bestehende Basis der Standardausführung ist mit einer strapazierfähigen anodisierten Beschichtung in Schwarz versehen. Für Anwendungen, die Schutz gegen elektrostatische Entladung erfordern, ist eine Ausführung mit vernickelter Oberfläche erhältlich. Darüber hinaus werden eine Reinraum-Ausführung sowie Vakuum-Versionen für 10^-3 oder 10^-6 Torr angeboten. Die Hubtische können autonom oder in Kombination mit Aerotechs XY-, Rotations- und Goniometertischen eingesetzt werden, um eine komplette Mehrachsen-Mikropositionierungslösung zusammenzustellen.