Unter Glas Verkapselte 2D-Mems-Scanner Ermöglichen Hochaufgelöste Laserprojektion Auch in Kleinstem Bauraum
Das Fraunhofer ISIT hat kompakte Doppelachsen-Mikroscanner-Spiegel entwickelt, die nach einer neu entwickelten kostengünstigen Packungstechnologie auf Waferebene vakuumverkapselt sind. Dies reduziert die Luftreibung in Verbindung mit einer phasengekoppelten Antriebsregelung der Spiegelachsen und ist der Schlüssel für eine hochaufgelöste Laserprojektion. Darüber hinaus vermindern die schrägen Glasdeckel ungewollte, störende Laserreflexe.
Von Joachim Janes | Ulrich Hofmann
Erschienen in Laser+Photonik 02/2012, Seite 26-29
Direct Link: http://www.laser-photonik.de/LP110141
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Literatur
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1 U. Hofmann et al.: “MEMS scanning laser projection based on high-Q vacuum packaged 2D-resonators”, Proc. SPIE 7930 (2011).
2 M. Oldsen, U. Hofmann, H.-J. Quenzer, B. Wagner: “A Novel Fabrication Technology for Wafer-level Vacuum Packaged Microscanning Mirrors”, Proc. 9th Electronics Packaging Technology Conference, Singapore (2007).
3 P. Merz, H.J. Quenzer, H. Bernt, B. Wagner, M. Zoberbier: “A novel micromachining technology for structuring borosilicate glass substrates”, Digest Tech. Papers, Transducers 2003, Conference, Boston, USA (2003) pp. 258-261.
