Ein 2000 Jahre Altes Phänomen Dient der Nanotopografiemessung
Am Fraunhofer IISB wurde ein Sensor zur Oberflächeninspektion entwickelt, der auf der relativ unbekannten “Makyoh”-Methode basiert. Er wird zur Topografiebestimmung von Halbleiterscheiben eingesetzt und hat sich als leistungsfähiger Ansatz zur großflächigen Ebenheitsmessung von spiegelnden Oberflächen aller Art erwiesen.
Von Alexander Tobisch | Martin Schellenberger | Lothar Pfitzner
Erschienen in Laser+Photonik 04/2012, Seite 38-41
Direct Link: http://www.laser-photonik.de/LP110164
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Der “Zauberspiegel” als Messprinzip [208 KB]
Literatur
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1 Schlichting, H. J., Ucke, C.: “Der chinesische Zauberspiegel”, Physik in unserer Zeit (Wiley-VCH), 33, Nr. 3 (2002).
2 Riesz, F.: “Geometrical optical model of the image formation in makyoh (magic-mirror) topography”, J. Phys. D. Appl. Phys. 33, 3033 (2000).
3 Berry, M. V.: “Oriental magic mirrors and the Laplacian image”, Eur. J. Phys. 27, 109 (2006).
