Mit dem auf einem piezoelektrischen Trägheitsantrieb beruhende neue kompakte Versteller-serie ›LPS-45‹ erweitert Pi micos die LPS-Baureihe der linearen Positioniertische.. Die Linearversteller erreichen auf kleinem Raum (die Länge reicht von 48 mm bei 13 mm Stellweg bis 63 mm bei 25 mm Stellweg) eine Kombination von Kraft und Positioniergenauigkeit, die mit konventionellen Antriebsprinzipien wie DC- oder Schrittmotoren nicht möglich ist. Die Halte- beziehungsweise maximale Vortriebskraft liegt bei 10 N, die maximale Geschwindigkeit beträgt 10 mm/s.

Die Präzisions-omponenten im LPS-45 wie etwa Kreuzrollenführungen mit Käfigzwangssteuerung ermöglichen eine hohe Ablaufgenauigkeit von unter 100 µrad. Das Längenmesssystem, ein optischer Linearencoder, besitzt eine Auflösung von 1 nm und ist wie der Motor zentral zwischen den Führungen angeordnet. In Kombination mit dem piezoelektrischen Trägheitsantrieb lassen sich so kleinste Schrittweiten im Bereich der Encoderauflösung stabil und wiederholbar erzielen. Aufgrund der hohen Selbsthemmung des Piezomotors benötigt die Lageregelung des Verfahrtisches nur wenig Strom, der Motor er-wärmt sich nicht. Der piezoelektrische Trägheitsantrieb wird mit einer Spannung von 45 V bei einer Frequenz von 23 kHz betrieben.

Die Positionsregelung ist auf schnelle Punkt-zu-Punkt-Bewegungen ausgelegt. Sie erfolgt mit dem Motion Controller E-871. Die Steuerung erfolgt über eine USB- oder RS-232 und besitzt zahlreiche Parameter zur optionalen Optimierung des Einschwingverhaltens. Aufgrund ihrer Vernetzbarkeit lassen sich bis zu 16 Achsen gleichzeitig über eine Computerschnittstelle ansteuern. Für Laboranwendungen unter-stützt der E-871 Controller LabView.

Die Antriebe der LPS-45 Serie eignen sich für Anwendungen mit geringen Betriebszyklen auf begrenztem Bauraum. Piezomotoren sind grundsätzlich vakuumtauglich und so werden auch die LPS-Positioniertische für den Betrieb bis ins Ultrahochvakuum mit 10 9 hPa ausgelegt. Speziell für den Einsatz im Labor und die Beamline-Instrumentierung baut PI miCos sein Angebot an Positioniersystemen mit Piezomotoren weiter aus. Aktuell wird der LPS-45 in einem parallelkinematischen SpaceFAB Design ver-wendet.