Das ›MSA-100-3D‹ von Polytec ermöglicht die optische Messung von dreidimensionalen Schwingungsparametern mikroskopischer Objekte in Echtzeit. Im Gegensatz zu anderen Ansätzen mit drei Vibrometern, welche die schwingende Oberfläche aus verschiedenen Richtungen vermessen, besteht das MSA-100-3D aus einem einzelnen, integrierten Messkopf. Dieser analysiert den vom Messobjekt in drei Raumrichtungen gestreuten einzelnen Laserstrahl und bestimmt daraus die dreidimensionale Objektbewegung. Somit werden bisherige Störeffekte vermieden und die örtliche Auflösung um etwa einen Faktor 10 auf unter 4 µm verbessert.


Das MSA-100-3D ist ein Entwicklungswerkzeug für Mikrosysteme mit beweglichen Komponenten wie etwa Mikro-Elektro-Mechanische-Systeme (MEMS) oder auch Schreib-Lese-Kopf-Tragarme von Festplatten. Weitere mögliche Anwendungsgebiete sind die Qualitätskontrolle und Fertigungsüberwachung von Mikrosystemen. Das MSA-100-3D misst erstmals Bewegungen in Richtung der Bauteilebene (IP, In-plane), mit der gleichen, extrem hohen Genauigkeit, wie bei Bewegungen, die senkrecht zum Bauteil sind (OOP, Out-of-plane).


Eine Expertenjury des AMA Fachverbands für Messtechnik und Sensorik hat das Polytec MSA-100-3D für den AMA Innovationspreis 2013 nominiert. Die Auszeichnung für bahnbrechende Entwicklungen im Bereich Messtechnik und Sensorik wird am 14. Mai auf der Fachmesse Sensor + Test verliehen. Neben Polytec sind vier weitere Beiträge für die Auszeichnung nominiert.


Polytec finden Sie auf der Laser World of Photonics am Stand B1.447,
auf der Control am Stand 1.1813 und
auf der Sensor+Test am Stand 11.420.